2024年全球市场半导体炉管用硅部件总体规模、主要生产商、主要地区、产品和应用细分研究报告

2024年全球市场半导体炉管用硅部件总体规模、主要生产商、主要地区、产品和应用细分研究报告

  • 报告编码:1937935
  • 出版时间:2024-10-23
  • 行业类别: 电子及半导体
  • 报告页码: 73
  • 报告格式:电子版或纸质版
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2024年全球市场半导体炉管用硅部件总体规模、主要生产商、主要地区、产品和应用细分研究报告
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本报告由Global Info Research出版研究与统计成果,报告版权仅为Global Info Research所有。未经Global Info Research书面许可,任何机构或个人不得以任何形式翻版、复制和发布本报告。报告仅提供给购买报告的客户内部使用,如需订阅研究报告,请直接联系本网站,任何机构和个人如引用、刊发本报告,须同时注明出处为Global Info Research,且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节或修改。未经授权刊载或者转发本报告的,Global Info Research将保留向其追究法律责任的权利。

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内容摘要

热处理工艺、薄膜沉积工艺可以统称为炉内工艺。二者加工场景中的炉内腔体结构存在一定共性,均需要使用硅舟、硅舟基座、硅内管、硅喷射管等硅部件产品,统称为炉管用硅部件(热处理、LPCVD)产品。

在半导体工艺中,热处理是不可或缺的重要工艺之一,具体包括氧化、扩散、退火。氧化是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理,在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程,氧化膜可作为离子注入的阻挡层及注入穿透层(损伤缓冲层)、表面钝化、绝缘栅材料以及器件保护层、隔离层、器件结构的介质层等。扩散是指在高温条件下,利用热扩散原理将杂质元素按工艺要求掺入硅衬底中,使其具有特定的浓度分布,从而改变硅材料的电学特性,形成半导体器件结构,扩散工艺在硅 IC 工艺中被用于制作 PN 结或构成集成电路中的电阻、电容、互连布线、二极管和晶体管等器件。退火是指在氮气等不活泼气氛中加热离子注入后的硅片,修复离子注入带来的晶格缺陷的过程,可以激活杂质、消除损伤。用于氧化/扩散/退火的基本设备包括卧式炉、立式炉和快速升温炉(RTP)。 

薄膜沉积是一种添加工艺,是指利用化学方法或物理方法在晶圆表面沉积一层电介质薄膜或金属薄膜,根据沉积方法可以分为化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、原子层沉积(ALD)三大类。CVD 是利用气态化学原材料在晶圆表面产生化学反应过程,在表面沉积一种固态物作为薄膜层。CVD 广泛应用在晶圆制造的沉积工艺中,包括外延硅沉积、硅沉积、电介质薄膜沉积和金属薄膜沉积。常用的化学气相沉积工艺包括常压化学气相沉积(APCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)和离子增强型化学气相沉积(PECVD)。 其中 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition),广泛用于二氧化硅(LTO TEOS)、氮化硅(低应力)(Si3N4)、多晶硅(LP-POLY)、磷硅玻璃(BSG)、硼磷硅玻璃(BPSG)、掺杂多晶硅、石墨烯、碳纳米管等多种薄膜,和常压的 CVD 相比,LPCVD 设备有更低的综合成本、更高的产能和更好的薄膜性能,在薄膜制造过程中使用较为广泛。在芯片的热处理、LPCVD 工艺中,芯片处于 600-1,250 摄氏度的生产环境中,需要采用在高温环境下保持强度和超高纯度,且不会对芯片造成损伤和污染的结构部件作为与晶圆直接接触或者与加工环境(气体)接触的材料。

据GIR (Global Info Research)调研,按收入计,2023年全球半导体炉管用硅部件收入大约80.9百万美元,预计2030年达到123百万美元,2024至2030期间,年复合增长率CAGR为5.8%。同时2023年全球半导体炉管用硅部件销量大约 ,预计2030年将达到 。2023年中国市场规模大约为 百万美元,在全球市场占比约为 %,同期北美和欧洲市场分别占比为 %和 %。未来几年,中国CAGR为 %,同期美国和欧洲CAGR分别为 %和 %,亚太地区将扮演更重要角色,除中美欧之外,日本、韩国、印度和东南亚地区,依然是不可忽视的重要市场。

本文研究全球市场、主要地区和主要国家半导体炉管用硅部件的销量、销售收入等,同时也重点分析全球范围内主要厂商(品牌)竞争态势,半导体炉管用硅部件销量、价格、收入和市场份额等。

针对过去五年(2019-2023)年的历史情况,分析历史几年全球半导体炉管用硅部件总体规模,主要地区规模,主要企业规模和份额,主要产品分类规模,下游主要应用规模等。规模分析包括销量、价格、收入和市场份额等。针对未来几年半导体炉管用硅部件的发展前景预测,本文预测到2030年,主要包括全球和主要地区销量、收入的预测,分类销量和收入的预测,以及主要应用半导体炉管用硅部件的销量和收入预测等。

目前全球半导体炉管用硅部件市场,主要由少数几家生产厂商主导,包括宁夏盾源聚芯半导体、SICO Technology GmbH和Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH等。

根据不同产品类型,半导体炉管用硅部件细分为:
    硅舟
    硅喷射管
    基座
    硅管
根据不同下游应用,本文重点关注以下领域:
    热处理设备(热氧化、退火、扩散)
    低压化学气相沉积(LPCVD)
本文重点关注全球范围内半导体炉管用硅部件主要企业,包括:
    宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
    SICO Technology GmbH
    Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH
本文重点关注全球主要地区和国家,重点包括:
北美市场(美国、加拿大和墨西哥)
欧洲市场(德国、法国、英国、俄罗斯、意大利和欧洲其他国家)
亚太市场(中国、日本、韩国、印度、东南亚和澳大利亚等)
南美市场(巴西和阿根廷等)
中东及非洲(沙特、阿联酋和土耳其等)
章节内容简要介绍:
第1章、定义、统计范围、产品分类、应用等介绍,全球总体规模及展望
第2章、企业简介,包括企业基本情况、主营业务及主要产品、半导体炉管用硅部件销量、收入、价格、企业最新动态等
第3章、全球竞争态势分析,主要企业半导体炉管用硅部件销量、价格、收入及份额
第4章、主要地区规模及预测
第5章、按产品类型拆分,细分规模及预测
第6章、按应用拆分,细分规模及预测
第7章、北美地区细分,按国家、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第8章、欧洲地区细分,按国家、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第9章、亚太地区细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第10章、南美地区细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第11章、中东及非洲细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第12章、市场动态,包括驱动因素、阻碍因素、发展趋势
第13章、行业产业链分析
第14章、销售渠道分析
第15章、报告结论
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报告目录

1 统计范围
1.1 半导体炉管用硅部件介绍
1.2 半导体炉管用硅部件分类
1.2.1 全球市场不同产品类型半导体炉管用硅部件规模对比:2019 VS 2023 VS 2030
1.2.2 硅舟
1.2.3 硅喷射管
1.2.4 基座
1.2.5 硅管
1.3 全球半导体炉管用硅部件主要下游市场分析
1.3.1 全球半导体炉管用硅部件主要下游市场规模对比:2019 VS 2023 VS 2030
1.3.2 热处理设备(热氧化、退火、扩散)
1.3.3 低压化学气相沉积(LPCVD)
1.4 全球市场半导体炉管用硅部件总体规模及预测
1.4.1 全球市场半导体炉管用硅部件市场规模及预测:2019 VS 2023 VS 2030
1.4.2 全球市场半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
1.4.3 全球市场半导体炉管用硅部件价格趋势
1.5 全球市场半导体炉管用硅部件产能分析
1.5.1 全球市场半导体炉管用硅部件总产能(2019-2030)
1.5.2 全球市场主要地区半导体炉管用硅部件产能分析

2 企业简介
2.1 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
2.1.1 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司基本情况
2.1.2 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司主营业务及主要产品
2.1.3 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件产品介绍
2.1.4 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件销量、价格、收入、毛利率及市场份额(2019-2024)
2.1.5 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司最新发展动态
2.2 SICO Technology GmbH
2.2.1 SICO Technology GmbH基本情况
2.2.2 SICO Technology GmbH主营业务及主要产品
2.2.3 SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件产品介绍
2.2.4 SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件销量、价格、收入、毛利率及市场份额(2019-2024)
2.2.5 SICO Technology GmbH最新发展动态
2.3 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH
2.3.1 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH基本情况
2.3.2 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH主营业务及主要产品
2.3.3 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件产品介绍
2.3.4 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件销量、价格、收入、毛利率及市场份额(2019-2024)
2.3.5 Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH最新发展动态

3 全球市场主要厂商竞争态势
3.1 全球市场主要厂商半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)
3.2 全球市场主要厂商半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)
3.3 全球半导体炉管用硅部件主要厂商市场地位
3.4 全球半导体炉管用硅部件市场集中度分析
3.5 全球半导体炉管用硅部件主要厂商产品布局及区域分布
3.5.1 全球半导体炉管用硅部件主要厂商区域分布
3.5.2 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产品类型
3.5.3 全球主要厂商半导体炉管用硅部件相关业务/产品布局情况
3.5.4 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产品面向的下游市场及应用
3.6 半导体炉管用硅部件新进入者及扩产计划
3.7 半导体炉管用硅部件行业扩产、并购情况

4 全球主要地区规模分析
4.1 全球主要地区半导体炉管用硅部件市场规模
4.1.1 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
4.1.2 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
4.2 北美市场半导体炉管用硅部件 收入(2019-2030)
4.3 欧洲市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
4.4 亚太市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
4.5 南美市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
4.6 中东及非洲市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)

5 全球市场不同产品类型半导体炉管用硅部件市场规模
5.1 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
5.2 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
5.3 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件价格(2019-2030)

6 全球市场不同应用半导体炉管用硅部件市场规模
6.1 全球不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
6.2 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
6.3 全球不同应用半导体炉管用硅部件价格(2019-2030)

7 北美市场
7.1 北美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
7.2 北美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
7.3 北美主要国家半导体炉管用硅部件市场规模
7.3.1 北美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
7.3.2 北美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
7.3.3 美国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
7.3.4 加拿大半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
7.3.5 墨西哥半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)

8 欧洲
8.1 欧洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
8.2 欧洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
8.3 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件市场规模
8.3.1 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
8.3.2 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
8.3.3 德国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
8.3.4 法国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
8.3.5 英国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
8.3.6 俄罗斯半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
8.3.7 意大利半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)

9 亚太
9.1 亚太不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
9.2 亚太不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
9.3 亚太主要地区半导体炉管用硅部件市场规模
9.3.1 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
9.3.2 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
9.3.3 中国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
9.3.4 日本半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
9.3.5 韩国半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
9.3.6 印度半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
9.3.7 东南亚半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
9.3.8 澳大利亚半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)

10 南美
10.1 南美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
10.2 南美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
10.3 南美主要国家半导体炉管用硅部件市场规模
10.3.1 南美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
10.3.2 南美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
10.3.3 巴西半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
10.3.4 阿根廷半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)

11 中东及非洲
11.1 中东及非洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
11.2 中东及非洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
11.3 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件市场规模
11.3.1 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)
11.3.2 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)
11.3.3 土耳其半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
11.3.4 沙特半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)
11.3.5 阿联酋半导体炉管用硅部件市场规模及预测(2019-2030)

12 市场动态
12.1 半导体炉管用硅部件市场驱动因素
12.2 半导体炉管用硅部件市场阻碍因素
12.3 半导体炉管用硅部件市场发展趋势
12.4 半导体炉管用硅部件行业波特五力模型分析
12.4.1 行业内竞争者现在的竞争能力
12.4.2 潜在竞争者进入的能力
12.4.3 供应商的议价能力
12.4.4 购买者的议价能力
12.4.5 替代品的替代能力

13 产业链分析
13.1 半导体炉管用硅部件主要原料及供应商
13.2 半导体炉管用硅部件成本结构及占比
13.3 半导体炉管用硅部件生产流程
13.4 半导体炉管用硅部件产业链

14 半导体炉管用硅部件销售渠道分析
14.1 半导体炉管用硅部件销售渠道
14.1.1 直销
14.1.2 经销
14.2 半导体炉管用硅部件典型经销商
14.3 半导体炉管用硅部件典型客户

15 研究结论

16 附录
16.1 研究方法
16.2 研究过程及数据来源
16.3 免责声明

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报告图表

表格目录
 表 1: 全球市场不同产品类型半导体炉管用硅部件收入(百万美元)&(2019 VS 2023 VS 2030)
 表 2: 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入(百万美元)&(2019 VS 2023 VS 2030)
 表 3: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司基本情况、总部、产地及竞争对手
 表 4: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司主营业务及主要产品
 表 5: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件产品介绍
 表 6: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件销量(件)、价格(美元/件)、收入(百万美元)、毛利率及市场份额(2019-2024)
 表 7: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司最新发展动态
 表 8: SICO Technology GmbH基本情况、总部、产地及竞争对手
 表 9: SICO Technology GmbH主营业务及主要产品
 表 10: SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件产品介绍
 表 11: SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件销量(件)、价格(美元/件)、收入(百万美元)、毛利率及市场份额(2019-2024)
 表 12: SICO Technology GmbH最新发展动态
 表 13: Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH基本情况、总部、产地及竞争对手
 表 14: Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH主营业务及主要产品
 表 15: Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件产品介绍
 表 16: Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件销量(件)、价格(美元/件)、收入(百万美元)、毛利率及市场份额(2019-2024)
 表 17: Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH最新发展动态
 表 18: 全球市场主要厂商半导体炉管用硅部件销量(件)&(2019-2024)
 表 19: 全球主要厂商半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2024)
 表 20: 全球市场主要厂商半导体炉管用硅部件收入(百万美元)&(2019-2024)
 表 21: 全球主要厂商半导体炉管用硅部件市场份额(2019-2024)
 表 22: 全球半导体炉管用硅部件主要厂商市场地位(第一梯队、第二梯队和第三梯队)
 表 23: 全球主要厂商总部及半导体炉管用硅部件产地分布
 表 24: 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产品类型
 表 25: 全球主要厂商半导体炉管用硅部件相关业务/产品布局情况
 表 26: 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产品面向的下游市场及应用
 表 27: 半导体炉管用硅部件新进入者及扩产计划
 表 28: 半导体炉管用硅部件行业扩产和并购情况
 表 29: 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 30: 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 31: 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入对比(2019 VS 2023 VS 2030)&(百万美元)
 表 32: 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 表 33: 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 34: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 35: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 36: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 37: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 38: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件价格(2019-2024)&(美元/件)
 表 39: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件价格(2025-2030)&(美元/件)
 表 40: 全球不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 41: 全球不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 42: 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 43: 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 44: 全球不同应用半导体炉管用硅部件价格(2019-2024)&(美元/件)
 表 45: 全球不同应用半导体炉管用硅部件价格(2025-2030)&(美元/件)
 表 46: 北美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 47: 北美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 48: 北美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 49: 北美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 50: 北美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 51: 北美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 52: 北美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 53: 北美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 54: 欧洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 55: 欧洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 56: 欧洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 57: 欧洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 58: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 59: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 60: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 61: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 62: 亚太不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 63: 亚太不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 64: 亚太不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 65: 亚太不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 66: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 67: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 68: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 69: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 70: 南美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 71: 南美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 72: 南美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 73: 南美不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 74: 南美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 75: 南美主要国家半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 76: 南美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 77: 南美主要国家半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 78: 中东及非洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 79: 中东及非洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 80: 中东及非洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 81: 中东及非洲不同应用半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 82: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2019-2024)&(件)
 表 83: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量(2025-2030)&(件)
 表 84: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2019-2024)&(百万美元)
 表 85: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入(2025-2030)&(百万美元)
 表 86: 半导体炉管用硅部件主要原料
 表 87: 半导体炉管用硅部件原料代表性供应商
 表 88: 半导体炉管用硅部件典型经销商
 表 89: 半导体炉管用硅部件典型客户


图表目录
 图 1: 半导体炉管用硅部件产品图片
 图 2: 全球市场不同产品类型半导体炉管用硅部件收入(百万美元)&(2019 VS 2023 VS 2030)
 图 3: 硅舟
 图 4: 硅喷射管
 图 5: 基座
 图 6: 硅管
 图 7: 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入(2019 VS 2023 VS 2030)
 图 8: 热处理设备(热氧化、退火、扩散)
 图 9: 低压化学气相沉积(LPCVD)
 图 10: 全球半导体炉管用硅部件收入(百万美元)&(件):2019 VS 2023 VS 2030
 图 11: 全球市场半导体炉管用硅部件收入及预测(2019-2030)&(百万美元)
 图 12: 全球市场半导体炉管用硅部件销量(2019-2030)&(件)
 图 13: 全球市场半导体炉管用硅部件价格趋势(2019-2030)&(美元/件)
 图 14: 全球市场半导体炉管用硅部件总产能(2019-2030)&(件)
 图 15: 全球市场主要地区半导体炉管用硅部件产能分析: 2023 VS 2030
 图 16: 全球第一梯队、第二梯队和第三梯队半导体炉管用硅部件厂商市场份额(2023)
 图 17: 全球前三大厂商半导体炉管用硅部件市场份额(2023)
 图 18: 全球前五大厂商半导体炉管用硅部件市场份额(2023)
 图 19: 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 20: 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(件)
 图 21: 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 22: 北美市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 图 23: 欧洲市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 图 24: 亚太市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 图 25: 南美市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 图 26: 中东及非洲市场半导体炉管用硅部件收入(2019-2030)&(百万美元)
 图 27: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 28: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 29: 全球不同产品类型半导体炉管用硅部件价格(2019-2030)&(美元/件)
 图 30: 全球不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 31: 全球不同应用半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 32: 全球不同应用半导体炉管用硅部件价格(2019-2030)&(美元/件)
 图 33: 北美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 34: 北美不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 35: 北美主要国家半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 36: 北美主要国家半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 37: 美国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 38: 加拿大半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 39: 墨西哥半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 40: 欧洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 41: 欧洲不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 42: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 43: 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 44: 德国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 45: 法国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 46: 英国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 47: 俄罗斯半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 48: 意大利半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 49: 亚太不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 50: 亚太不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 51: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 52: 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 53: 中国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 54: 日本半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 55: 韩国半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 56: 印度半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 57: 东南亚半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 58: 澳大利亚半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 59: 南美不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 60: 南美不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 61: 南美主要国家半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 62: 南美主要国家半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 63: 巴西半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 64: 阿根廷半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 65: 中东及非洲不同产品类型半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 66: 中东及非洲不同应用半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 67: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额(2019-2030)
 图 68: 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入份额(2019-2030)
 图 69: 土耳其半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 70: 沙特半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 71: 阿联酋半导体炉管用硅部件收入及增速(2019-2030)&(百万美元)
 图 72: 半导体炉管用硅部件市场驱动因素
 图 73: 半导体炉管用硅部件市场阻碍因素
 图 74: 半导体炉管用硅部件市场发展趋势
 图 75: 半导体炉管用硅部件行业波特五力模型分析
 图 76: 2023年半导体炉管用硅部件成本结构及占比
 图 77: 半导体炉管用硅部件生产流程
 图 78: 半导体炉管用硅部件产业链
 图 79: 半导体炉管用硅部件销售渠道:直销和经销渠道
 图 80: 研究方法
 图 81: 研究过程及数据来源
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内容摘要

热处理工艺、薄膜沉积工艺可以统称为炉内工艺。二者加工场景中的炉内腔体结构存在一定共性,均需要使用硅舟、硅舟基座、硅内管、硅喷射管等硅部件产品,统称为炉管用硅部件(热处理、LPCVD)产品。

在半导体工艺中,热处理是不可或缺的重要工艺之一,具体包括氧化、扩散、退火。氧化是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理,在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程,氧化膜可作为离子注入的阻挡层及注入穿透层(损伤缓冲层)、表面钝化、绝缘栅材料以及器件保护层、隔离层、器件结构的介质层等。扩散是指在高温条件下,利用热扩散原理将杂质元素按工艺要求掺入硅衬底中,使其具有特定的浓度分布,从而改变硅材料的电学特性,形成半导体器件结构,扩散工艺在硅 IC 工艺中被用于制作 PN 结或构成集成电路中的电阻、电容、互连布线、二极管和晶体管等器件。退火是指在氮气等不活泼气氛中加热离子注入后的硅片,修复离子注入带来的晶格缺陷的过程,可以激活杂质、消除损伤。用于氧化/扩散/退火的基本设备包括卧式炉、立式炉和快速升温炉(RTP)。 

薄膜沉积是一种添加工艺,是指利用化学方法或物理方法在晶圆表面沉积一层电介质薄膜或金属薄膜,根据沉积方法可以分为化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、原子层沉积(ALD)三大类。CVD 是利用气态化学原材料在晶圆表面产生化学反应过程,在表面沉积一种固态物作为薄膜层。CVD 广泛应用在晶圆制造的沉积工艺中,包括外延硅沉积、硅沉积、电介质薄膜沉积和金属薄膜沉积。常用的化学气相沉积工艺包括常压化学气相沉积(APCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)和离子增强型化学气相沉积(PECVD)。 其中 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition),广泛用于二氧化硅(LTO TEOS)、氮化硅(低应力)(Si3N4)、多晶硅(LP-POLY)、磷硅玻璃(BSG)、硼磷硅玻璃(BPSG)、掺杂多晶硅、石墨烯、碳纳米管等多种薄膜,和常压的 CVD 相比,LPCVD 设备有更低的综合成本、更高的产能和更好的薄膜性能,在薄膜制造过程中使用较为广泛。在芯片的热处理、LPCVD 工艺中,芯片处于 600-1,250 摄氏度的生产环境中,需要采用在高温环境下保持强度和超高纯度,且不会对芯片造成损伤和污染的结构部件作为与晶圆直接接触或者与加工环境(气体)接触的材料。

据GIR (Global Info Research)调研,按收入计,2023年全球半导体炉管用硅部件收入大约80.9百万美元,预计2030年达到123百万美元,2024至2030期间,年复合增长率CAGR为5.8%。同时2023年全球半导体炉管用硅部件销量大约 ,预计2030年将达到 。2023年中国市场规模大约为 百万美元,在全球市场占比约为 %,同期北美和欧洲市场分别占比为 %和 %。未来几年,中国CAGR为 %,同期美国和欧洲CAGR分别为 %和 %,亚太地区将扮演更重要角色,除中美欧之外,日本、韩国、印度和东南亚地区,依然是不可忽视的重要市场。

本文研究全球市场、主要地区和主要国家半导体炉管用硅部件的销量、销售收入等,同时也重点分析全球范围内主要厂商(品牌)竞争态势,半导体炉管用硅部件销量、价格、收入和市场份额等。

针对过去五年(2019-2023)年的历史情况,分析历史几年全球半导体炉管用硅部件总体规模,主要地区规模,主要企业规模和份额,主要产品分类规模,下游主要应用规模等。规模分析包括销量、价格、收入和市场份额等。针对未来几年半导体炉管用硅部件的发展前景预测,本文预测到2030年,主要包括全球和主要地区销量、收入的预测,分类销量和收入的预测,以及主要应用半导体炉管用硅部件的销量和收入预测等。

目前全球半导体炉管用硅部件市场,主要由少数几家生产厂商主导,包括宁夏盾源聚芯半导体、SICO Technology GmbH和Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH等。

根据不同产品类型,半导体炉管用硅部件细分为:
    硅舟
    硅喷射管
    基座
    硅管
根据不同下游应用,本文重点关注以下领域:
    热处理设备(热氧化、退火、扩散)
    低压化学气相沉积(LPCVD)
本文重点关注全球范围内半导体炉管用硅部件主要企业,包括:
    宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
    SICO Technology GmbH
    Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH
本文重点关注全球主要地区和国家,重点包括:
北美市场(美国、加拿大和墨西哥)
欧洲市场(德国、法国、英国、俄罗斯、意大利和欧洲其他国家)
亚太市场(中国、日本、韩国、印度、东南亚和澳大利亚等)
南美市场(巴西和阿根廷等)
中东及非洲(沙特、阿联酋和土耳其等)
章节内容简要介绍:
第1章、定义、统计范围、产品分类、应用等介绍,全球总体规模及展望
第2章、企业简介,包括企业基本情况、主营业务及主要产品、半导体炉管用硅部件销量、收入、价格、企业最新动态等
第3章、全球竞争态势分析,主要企业半导体炉管用硅部件销量、价格、收入及份额
第4章、主要地区规模及预测
第5章、按产品类型拆分,细分规模及预测
第6章、按应用拆分,细分规模及预测
第7章、北美地区细分,按国家、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第8章、欧洲地区细分,按国家、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第9章、亚太地区细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第10章、南美地区细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第11章、中东及非洲细分,按地区、产品类型和应用拆分,细分规模及预测
第12章、市场动态,包括驱动因素、阻碍因素、发展趋势
第13章、行业产业链分析
第14章、销售渠道分析
第15章、报告结论
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服务范围

GlobaI Info Research拥有150万种商品研究报告,每份报告涵盖10万+数据指标,180+图表。有800多个行业覆盖;同时有200个各行业
数据库覆盖;全年365天,每天24小时在线服务系统;全球160多个国家本地化数据采集系统;每年提供超过12万份各行业研究报告。

市场规模

提供行业龙头(竞品)企业销量、收入、价格、毛利率、市场份额等关键指标

市场分析

行业所在区域产能、产量、产值及市场份额,上下游细分产业分析,产品下沉市场应用分类分析

市场预测

过去5年历史数据+未来5年预测数据+数据深度分析

可行性建议指标

专属定制服务+百万资源数据库